Yahoo奇摩運動 東佑達奈米定位平台 半導體最佳夥伴
東佑達集團奈米系統（TOYONANO）精密定位平台於SEMICON Taiwan 2023三天的展會期間廣獲業界矚目，該集團於今年的臺灣國際半導體展推出一系列適用於半導體製程和AOI檢測的高精度定位平台，這些平台對於提升半導體製造行業實現更高水平的生產效率和品質帶來莫大的助益。
據了解，東佑達在甫落幕的SEMICON TAIWAN展示對應半導體的產品包括：氣浮單軸平台（LBT），採用了空氣軸承氣浮技術，不僅零磨耗且無須潤滑油零維護，能夠實現卓越的平滑運動速度漣波可達0.1％/100/s，重複定位精度±0.25μm/300mm，適用於需要高精度定位的應用，特別是在晶圓製造的光學和檢測系統中。
XY中空定位平台（LXY）是半導體檢測系統的重要組件，大中空設計，可進行雙面加工，放入光學檢測機構，具有卓越的動態性能，最高線速度可達0.6m/s，加速度0.5G，低阻力摩擦設計，速度漣波可達0.4％/100/s，能夠實現高速光柵掃描，確保檢測的高精度和準確性。
另外，精密升降定位平台（ZH）在晶圓設備中發揮著關鍵作用，創新楔型結構，不僅緊湊並可實現精密的升降Z軸行程10mm作動，重複定位精度±1μm，能夠實現升降運動的高度控制，確保製程的精密度，最大負載可達80kg，超高精度鑄鐵傳動模組（LTS/U）採用高剛性本體鑄鐵技術可減低振動，降低熱膨脹造成的精度誤差，並降低整定時間，重複定位精度±1μm，實現超高精度的運動控制，滿足半導體行業對高精度定位的需求。
相關的奈米定位級適用於半導體製程，應用於AOI檢測系統中，能夠偵測各種缺陷，包括晶圓表面上的空隙、凹坑和刮傷，TOYONANO奈米平台亦適合潔淨室環境，為半導體製造業提供更高水平的潔淨室適用性，另外也適用於Micro LED、PCB檢測、自動化精密量測、雷射切割等相關製程。
東佑達表示，該集團致力於製程的更精密和更智能化，期冀協助半導體產業提高生產效率同時確保最高品質水平，與半導體業界共同推動半導體技術發展。
